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首页 > 产品中心 > 流量计系列 > 超声波流量计>MS/MCS型MS/MCS 系列 耐腐蚀质量流量计

产品名称:MS/MCS 系列 耐腐蚀质量流量计

发布时间:2023-12-22

产品型号:MS/MCS型

产品特点:MS/MCS 系列 耐腐蚀质量流量计可精、快速测量腐蚀性气 体(如:NH3、H2S、SiH4 等)的质量流量、体积流量、压力和 温度。MCS 系列质量流量控制器通过定制化的高速比例控制阀 还可精控制腐蚀性过程气体的质量流量、体积流量和压力。可测量 130 多种气体的质量和体积流量,其中包括 32 种腐蚀性气体。

MS/MCS型MS/MCS 系列 耐腐蚀质量流量计的详细资料:

MS/MCS 系列 耐腐蚀质量流量计产品介绍:



  MS/MCS 系列质量流量计&质量流量控制器的核心部件是 Alicat 专有的层流压差技术,确保在大流量情况仍然是线性流动,从而 补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。 所有 Alicat 质量流量计&质量流量控制器均具有 NIST 可溯源校准 证书。


MS/MCS 系列质量流量计/质量流量控制器采用全不锈钢结构及弹性密封材料,内置 130/128 种标准气体供 选择。集成式多功能数字显示屏允许用户通过显示屏按钮操作便可进行气体切换、设定值输入及 PID 阀门 调节。MS/MCS 系列设备支持标准的模拟通讯和 RS-232 数字通讯模式,另有各类定制化选项供特殊项目 需求,如:用于危险环境的 ATEX(欧洲)1 类 2 区和 CSA(美国)1 类 2 区认证产品等。另有便携式(MBS 系 列)质量流量计可选。


为腐蚀性过程气体应用的首肯,如:半导体行业 等。多变量测量与控制、多种气体标定以及 100:1 量程可调比使得仅用单台 MS/MCS 系列质量流量控制器 便可取代多台设备的功效。很高可达 0.4%的精度、0.2%重复性及不到 100 毫秒的控制响应时间很大程度优 化了气体控制过程。 


MS/MCS 质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的满量程的任何流量。


可测量 130 多种气体的质量和体积流量,其中包括 32 种腐蚀性气体。



技术参数:



0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 4000 slpm 满量程


精度(调零后标准条件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) 


高精度选配(调零后标准条件下) :±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)高精度(选配)仅适用于量程为 5SCCM ~ 500SLPM 的设备


精度(双向流量型号)(调零后标准条件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) F.S:负满量程到正满量程


重复性: ±0.2% F.S 


零点漂移&满量程漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm


工作范围 / 量程可调比: 1% ~ 100 F.S / 100:1


很大可测流量: 128% F.S 


典型响应时间 :10 毫秒(可调整)


启动预热时间 :< 1 秒


标准工况 (STP): 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换) 


工作温度: −10 ~ +50 ºC


工作湿度范围 (非冷凝) :0 ~ 100 


内部很大工作压力(静压) :145 psig 


设备允许通过的很大瞬时压差 (入口压力-出口压力): 75 psid 


很限压力 175 psig 


对安装方式/方向的要求: 无 


防护等级: IP40


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