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首页 > 产品中心 > 流量计系列 > 气体流量计>MC型MC 气体标准质量流量控制器

产品名称:MC 气体标准质量流量控制器

发布时间:2023-12-22

产品型号:MC型

产品特点:MC 气体标准质量流量控制器控制响应很快、很稳定的质量流量控制器,可测量并控制低至2.5微升的流量,依照用户应用需求量身定制阀门孔径以确保达到很好工作效果。

MC型MC 气体标准质量流量控制器的详细资料:

MC 气体标准质量流量控制器产品介绍:


  MC 气体标准质量流量控制器全球控制响应很快、很稳定的质量流量控制器,可测量并控制低至2.5微升的流量,依照用户应用需求量身定制阀门孔径以确保达到很好工作效果。


所有气体的满量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之间( H2 为 10,000 SLPM)

监测四个变量: 质量流量、体积流量、压力和温度

控制三个变量之一:质量流量、体积流量或压力

预加载98 多种气体校准且可供用户选择

本地、模拟或数字控制,包括工业协议


技术参数:


稳态控制范围:满量程的0.01% – 100%

NIST 可追溯校准

标准精度:读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%,以较大者为准

高精度:读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%,以较大者为准

重复性:±(读数的0.1% + 满量程的0.02%)

典型控制响应时间:快至 30 ms

预热时间:<1秒

兼容气体:98+ 纯气体和混合非腐蚀性气体

工作温度:–10°C 至 +60°C

满量程工作压力:160 PSIA (11 barA)


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